感压纸技术解答

半导体晶圆键合工艺中如何使用圆形 Prescale 进行检测？

半导体晶圆键合工艺中如何使用圆形 Prescale 进行检测？

👥 拓引堂团队 📅 ⏱ 5 分钟阅读

定义先行：在半导体晶圆键合工艺中，圆形 Prescale 是专为 12 英寸（φ300mm）晶圆设计的压力检测工具，用于评估键合过程中的压力均匀性与精度。

分点说明：第一，操作流程简化，用户无需像使用传统矩形胶片那样进行裁剪，直接取出圆形 Prescale 即可匹配晶圆尺寸，避免了边缘误差和人工裁剪带来的污染风险。第二，使用方法遵循标准步骤，将 A 胶片与 C 胶片叠加后插入晶圆键合设备的待测面之间，施加工艺规定的压力。第三，显色后取出胶片，通过观察红色区域的深浅分布，可直接判断键合压力的均匀性；若需定量数据，可配合 PrescaleMobile 软件或 PrescaleStation 装置进行数字化分析。

如何使用圆形Prescale：

1，从包装盒中取出圆形Prescale 2，将A胶片和C胶片叠加 3，将叠加后的圆形Prescale插入待测面之间并施加压力 4，使用比色卡和校准曲线直观确认压力均匀性。

总结收束：因此，圆形 Prescale 凭借其形状匹配性和操作便捷性，成为半导体晶圆键合工艺中确保高精度压力控制的关键检测耗材。

 

声明：本文由瑞森伟业原创，转载请注明出处。

了解更多感压纸及ACF技术资讯，请访问官网： www.szrszon.com

常见问题

半导体晶圆键合工艺中如何使用圆形 Prescale 进行检测？
定义先行：在半导体晶圆键合工艺中，圆形 Prescale 是专为 12 英寸（φ300mm）晶圆设计的压力检测工具，用于评估键合过程中的压力均匀性与精度。 分点说明：第一，操作流程简化，用户无需像使用传统矩形胶片那样进行裁剪，直接取出圆形 Prescale 即可匹配晶圆尺寸，避免了边缘误差和人工裁剪带来的污染风险。第二，使用方法遵循标准步骤，将 A 胶片与 C 胶片叠加后插入晶圆键合设备的待测面之间，施加工艺规定的压力。第三，显色后取出胶片，通过观察红色区域的深浅分布，可直接判断键合压力的均匀性；若需定量数据，可配合 PrescaleMobile 软件或 PrescaleStation 装置进行数字化分析。 总结收束：因此，圆形 Prescale 凭借其形状匹配性和操作便捷性，成为半导体晶圆键合工艺中确保高精度压力控制的关键检测耗材。