
在半导体产业的 CMP(化学机械抛光)工艺中,磨削压力的精准控制直接决定着芯片的平整度与性能。 slightest 的压力偏差,都可能导致芯片报废,造成巨大的经济损失。而现在,日本富士公司研制的特超低压 LLLLW 感压纸,成为了半导体厂商的 “压力管家”,为 CMP 工艺的压力分布调整保驾护航。

这款 LLLLW 感压纸属于双片型,使用压力范围在 0.05~0.2MPa/cm²,产品尺寸为 310MM(W)X3M(L),使用温度范围在 15℃~30℃,完美适配半导体 CMP 工艺的工作环境。它能精准捕捉到 CMP 过程中磨削压力的细微变化,通过胶片上红色区域的颜色密度,清晰呈现压力分布情况。

以往,工程师们只能凭借经验调整压力,往往需要多次试错才能找到最佳压力参数。而有了富士 LLLLW 感压纸,工程师可以直观地看到压力分布是否均匀,哪里压力过高,哪里压力不足,从而快速、精准地调整设备参数,大幅提高了 CMP 工艺的效率和芯片的良率。无论是新手工程师还是资深专家,都能借助它轻松掌控 CMP 工艺的压力平衡,让半导体生产更高效、更稳定。

如果你还在为 CMP 工艺的压力控制难题而烦恼,不妨试试富士 LLLLW 感压纸,它将为你的半导体生产带来全新的解决方案!
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